Power Feedthrough | Kawaso Texcel Co.,Ltd

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특징

뛰어난 절연성으로 밀폐되어 있습니다.
절연저항(MΩ): 1,000이상(DC1,000V시)
기밀성: 1×10^-10Pa·m³/sec
진공 챔버에 전력을 인가하여 측정신호나 제어신호를 추출하는데 최적인 제품입니다.

고객의 요구에 맞도록 커스터마이즈로 제품을 제작할 수 있습니다.

Standard Feedthroughs
Customized Feedthroughs
Fluid Feedthroughs

Standard Feedthrough

1K Volts / to 20 Amps

Volts	Amps	Conductor			Flange	Product Number	Drawing
Volts	Amps	Size	Material	Quantity	Flange	Product Number	Drawing
1kV	3A	φ1.6	Fe-Ni-Co	1	-	PF-K1.6-1kV-3A	PDF
1kV	20A	φ1.6	Oxygen Free Copper (JIS C1020)	1	-	PF-C1.6-1kV-20A	PDF

1K Volts / to 10 Amps

Volts	Amps	Conductor			Flange	Product Number	Drawing
Volts	Amps	Size	Material	Quantity	Flange	Product Number	Drawing
1kV	5A *1	M3	Stainless Steel (SUS304)	1	-	PF-SM3-1kV-5A *1	PDF
				1	ICF34	PF-SM3-1kV-5A-I34-1 *1	PDF
				2	ICF70	PF-SM3-1kV-5A-I70-2 *1	PDF
	10A		Fe-Ni-Co	1	-	PF-KM3-1kV-10A	PDF
				1	ICF34	PF-KM3-1kV-10A-I34-1	PDF
				2	ICF70	PF-KM3-1kV-10A-I70-2	PDF

*1: 납기는 문의해주시기 바랍니다.

3K Volts / to 200 Amps

Volts	Amps	Conductor			Flange	Product Number	Drawing
Volts	Amps	Size	Material	Quantity	Flange	Product Number	Drawing
3kV	10A	M6	Stainless Steel (SUS304)	1	-	PF-SM6-3kV-10A	PDF
				1	ICF34	PF-SM6-3kV-10A-I34-1	PDF
				1	ICF70	PF-SM6-3kV-10A-I70-1	PDF
				2	ICF70	PF-SM6-3kV-10A-I70-2	PDF
		M6 (L)		1	-	PF-SM6-3kV-10A-L	PDF
				1	ICF34	PF-SM6-3kV-10A-L-I34-1	PDF
				2	ICF70	PF-SM6-3kV-10A-L-I70-2	PDF
	30A	M10		1	-	PF-SM10-3kV-30A	PDF
				1	ICF70	PF-SM10-3kV-30A-I70-1	PDF
				2	ICF114	PF-SM10-3kV-30A-I114-2	PDF
	100A	M6	Oxygen Free Copper (JIS C1020)	1	-	PF-CM6-3kV-100A	PDF
				1	ICF34	PF-CM6-3kV-100A-I34-1	PDF
				1	ICF70	PF-CM6-3kV-100A-I70-1	PDF
				2	ICF70	PF-CM6-3kV-100A-I70-2	PDF
		M6 (L)		1	-	PF-CM6-3kV-100A-L	PDF
				1	ICF34	PF-CM6-3kV-100A-L-I34-1	PDF
				2	ICF70	PF-CM6-3kV-100A-L-I70-2	PDF
	200A	M10		1	-	PF-CM10-3kV-200A	PDF
				1	ICF70	PF-CM10-3kV-200A-I70-1	PDF
				2	ICF114	PF-CM10-3kV-200A-I114-2	PDF

5K Volts / to 70 Amps

Volts	Amps	Conductor			Flange	Product Number	Drawing
Volts	Amps	Size	Material	Quantity	Flange	Product Number	Drawing
5kV	8A	M5	Stainless Steel (SUS304)	1	-	PF-SM5-5kV-8A	PDF
				1	ICF34	PF-SM5-5kV-8A-I34-1	PDF
				2	ICF70	PF-SM5-5kV-8A-I70-2	PDF
	70A		Oxygen Free Copper (JIS C1020)	1	-	PF-CM5-5kV-70A	PDF
				1	ICF34	PF-CM5-5kV-70A-I34-1	PDF
				2	ICF70	PF-CM5-5kV-70A-I70-2	PDF

12K Volts / to 100 Amps

Volts	Amps	Conductor			Flange	Product Number	Drawing
Volts	Amps	Size	Material	Quantity	Flange	Product Number	Drawing
12kV	10A	M6	Stainless Steel (SUS304)	1	-	PF-SM6-12kV-10A	PDF
				1	ICF34	PF-SM6-12kV-10A-I34-1	PDF
				1	ICF70	PF-SM6-12kV-10A-I70-1	PDF
				2	ICF70	PF-SM6-12kV-10A-I70-2	PDF
	100A		Oxygen Free Copper (JIS C1020)	1	-	PF-CM6-12kV-100A	PDF
				1	ICF34	PF-CM6-12kV-100A-I34-1	PDF
				1	ICF70	PF-CM6-12kV-100A-I70-1	PDF
				2	ICF70	PF-CM6-12kV-100A-I70-2	PDF

30K Volts / to 100 Amps

Volts	Amps	Conductor			Flange	Product Number	Drawing
Volts	Amps	Size	Material	Quantity	Flange	Product Number	Drawing
30kV	10A *1	M6	Stainless Steel (SUS304)	1	-	PF-SM6-30kV-10A *1	PDF
	10A *1		Stainless Steel (SUS304)	1	ICF70	PF-SM6-30kV-10A-I70-1 *1	PDF
	100A *1		Oxygen Free Copper (JIS C1020)	1	-	PF-CM6-30kV-100A *1	PDF
	100A *1		Oxygen Free Copper (JIS C1020)	1	ICF70	PF-CM6-30kV-100A-I70-1 *1	PDF

*1: 납기는 문의해주시기 바랍니다.

전류 용량은 도체의 재질에 따라서 다릅니다

허용 전류치

Diameter	Cross Section (mm²)	Current Capacity (A)
Diameter	Cross Section (mm²)	Oxygen Free Copper (JIS C1020)	Fe-Ni-Co	Stainless Steel (SUS304)
M3	7.07	40.0	8.0	6.5
M5	19.63	83.5	16.5	13.5
M6	28.27	109.0	21.5	17.5
M10	78.54	225.0	44.5	36.5

주위온도: 40°C, 온도상승: 40°C, 주파수: 50Hz

Customized Feedthrough

고객의 요구에 따라서 기기나 사용환경에 맞도록 최적인 부품을 선택하여 피드스루를 제작할 수 있습니다.

세라믹의 칫수와 형상

세라믹은 자사제품이므로 요청에 따라서 세라믹의 형상이나 칫수를 변경할 수 있습니다.
예) 연면거리를 길게하여 방전대책을 할 수 있으며 또한 알루미나의 함유량을 변경하는 것도 가능합니다. (92%, 96%, 99%)

전극 재료

전극 재료를 니켈, 티타늄, 알루멜, 크로멜등의 재료로 변경할 수 있습니다.

전극 (Cu, SUS, Kovar, Ni, Ti, etc)

전극에 Ni도금을 실시하고 있습니다.

완전 비자성의
티타늄 전극 피드스루

허용 전류치

Diameter (mm)	Cross Section (mm²)	Allowable current value (A)
Diameter (mm)	Cross Section (mm²)	Oxygen Free Copper (JIS C1020)	Fe-Ni-Co	Stainless Steel (SUS304)
3	7.07	40.0	8.0	6.5
5	19.63	83.5	16.5	13.5
6	28.27	109.0	21.5	17.5
10	78.54	225.0	44.5	36.5

주위온도: 40°C, 온도상승: 40°C, 주파수: 50Hz
* 전류치는 전극재질과 단면적으로 결정합니다.

메탈라이즈 기술에 대해서 여기

전극 재료

전극형상의 변경도 가능합니다.

전극 (스트레이트)
전극 (나사형상)
전극 (단자판)
전극 (BNC)

플렌지와 용접

용접
브레이징
피드스루 + 플렌지

플렌지등의 액세서리를 용접 및 브레이징 가능합니다.

특수한 피드스루

특수한 피드스루의 제작도 가능합니다.

메탈라이즈 기술에 대해서 여기

히터 도입용 피드스루
고주파용 피드스루
열전대용 피드스루
수냉식 피드스루

수냉용 피드스루

표준사양.
각종 진공플렌지와의 용접도 가능함.
커스터마이즈 제품
자사 생산의 세라믹
형상·칫수의 변경도 가능함.
유기EL이나 LED등의 디스플레이용 열적 영향을 완화하는데 사용됩니다.

열원 가까이서 사용이 가능합니다.

중심도체에 직접 히터를 연결하는 경우 히터의 열에 의해서 중심도체가 발열합니다.
중심도체를 수냉식으로 하여 히터에서의 열영향을 완화할 수 있으며 발열을 억제할 수 있는 피드스루 입니다.

Standard type

특성

절연저항 (MΩ): 1,000이상 (at DC500V), 기밀특성: 1×10^-10Pa·m³/se

* 2 개의 Swagelok 튜브의 외경은 동일합니다.
* ICF70 로타리 플렌지 추천 (취부시 미세조정)

Resistence voltage	Allowable current value	Size (mm)
Resistence voltage	Allowable current value	ΦD1	ΦD2	L1	L2
3kV	200A	Φ16	Φ26	184*	80*

L1·L2의 칫수는 요청에 따라서 변경 가능합니다.

냉각 커넥터부분은 시판용을 사용합니다. (하기 리스트에서 선정해 주십시요)

공통 사양

고정 사이즈의 부품

세라믹경: 3kV(내전압)
세라믹 상하 연결구 사이즈
진공측 전극경: φ16

커스터마이즈

사이즈 변경 가능한 부품

전극의 길이 & 구조
배틀도어 단자
냉각 커넥터 사이즈
플렌지의 취부

* 냉각용 커넥터 (TMT 커넥터)

NTR 나사 (미국 규격에 따름)

Tube outside diameter	NTR male screw size	Diamension
Tube outside diameter	NTR male screw size	A	Ax	D	E*	F
(inch)	(inch)	(mm)	(mm)	(mm)	(mm)	(inch)
1/8	1/8	41.4	23.6	12.7	2.3	7/16
1/8	1/4	48	24.6	12.7	2.3	1.2
3/16	1/8	42.2	24.4	13.7	3.0	7/16
1/4	1/8	45.7	26.9	15.2	4.8	1/2
1/4	1/4	50.3	26.9	15.2	4.8	1/2
3/8	3/8	61.5	33.3	16.8	7.1	13/16
1/2	3/8	64.3	36.1	22.9	9.7	13/16
(inch)	(inch)	(mm)	(mm)	(mm)	(mm)	(inch)
6	1/8	45.8	27.0	15.3	4.8	1/2
6	1/4	50.3	27.0	15.3	4.8	1/2
8	1/4	55.3	29.9	16.2	6.4	5/8

* Column E shows the minimum diameter of nominal holes. The diameter of a hole for the pipe thread/ parallel thread end can be larger than the inside diameter.

* 회전 플렌지

회전 플렌지의 경우 베틀단자를 배치하여 냉각하는 것은 비교적 간단합니다.