Metallized & Brazed Product

Metallized & Brazed Product

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당사는 높은 기밀성(1×10-10Pa·m3/s이하)을 확보하여 표면을 금속화한 세라믹과 금속 브레이징을 실시합니다.
메탈라이징은 비금속 표면에 금속막을 형성시키는 것 입니다.
KOVAR는 세라믹에 가까운 열팽창계수를 가지고 있으므로 접합용 금속으로서 사용되고 있으며 하기의 표에서 나타내는 다양한 금속과의 접합도 가능합니다.

Join Variations

Product Category Materials
Al2O3 Kovar
SUS304
Ti, Al, Cu
AIN, Si3N4 Cu
Sapphire SUS304, SUS316, Kovar
Be, Diamond Al, Cu, Ni
Kovar, Mo, W

난이도가 높은 이종금속의 접합도 가능합니다. 상세는 여기 Brazing Technology

도입 실적

  • 반도체 산업

    Semiconductor Industry

  • 의료

    Medical Industry

  • 항공·우주

    Aerospace Industry

연구실·대학

  • Laboratory and University1
    사진제공：국립연구개발법인 이화학연구소(SPring-8)
    SPring-8은 세계 최대의 방사광 시설입니다.
  • Laboratory and University2
    사진제공：고에너지 가속기 연구기구
    KEK는 세계유수의 가속기 과학연구소 입니다.

당사의 "용융 티탄메탈라이즈 법" 으로 제조된 제품은 다년간의 신뢰성과 실적이 있으며 각종 업계에서 사용되고 있습니다.

"용융 티탄메탈라이즈 법" 이란?

사용예

  • 반도체 제조장치
  • 의료장치
  • 진공장치
  • 각종 연구기관, 대학
  • 인공위성
  • 생산공장
  • X선 투과장치
  • 전원장치
  • 관측용 윈도우
  • Tanker
  • 유조선

접합기술을 통해서 세계인의 생활 기반이 되는 시설·설비등의 제작기술을 제공합니다.

품질관리 시스템

각 제품의 리크, 내전압, 절연저항, 내압성등의 요구성능을 시험하여 만족하는 접합특성 인가를 확인합니다.

Shape Measurement Laser Microscope

형상측정 레이져 현미경

미세형상의 고정밀도 관찰에 사용됩니다.
표면에 미세 요철형상이나 거칠기를 나노수준으로 관찰하며 측정된 미세 요철 형상을 그라데이션으로 가시화 합니다.
최대 관찰 배율은 2,800배 입니다.

3D Scanner CMM Controller

3D스케너

3D 형상을 계측하는 장치입니다.
측정된 3D 형상을 그라데이션으로 가시화 합니다.
또한, 3D CAD 도면과 비교하여 어떤 부분에서 어떤 정도의 형상 차이가 생겼는지를 정량적으로 평가합니다.

Image Dimension Measurement System

화상 측정기

수입검사 및 칫수측정에 사용됩니다.
원, 길이, 단차등의 칫수와 더불어 평행도, 진원도, 직각도, 원통도등의 형상공차도 측정할 수 있습니다.
따라서 공정능력지수와 측정결과는 측정이력으로 부터 트렌드 그라프로 확인이 가능합니다.

X-ray Transmission Test

X선 투과장치

이 장치는 비파괴, 고배율로 접합부의 투시 확인에 사용됩니다.
외부에서는 확인 할 수 없는 브레이징재의 량, 기공, 필렛, 내부상태를 관찰할 수 있습니다.

High-voltage Load Test

내전압 시험장치

제품의 내전압특성을 검사합니다.
고객의 요구 전압에서 내전압특성을 평가할 수 있습니다.
또한, 진공 환경하에서의 시험도 가능합니다.

Heliun Leakage Test

헬륨 리크 시험장치

접합부(금속화·브레이징 부품) 혹은 용접 커넥터의 기밀성을 검사합니다.
통상, 1×10-10Pa·s에서 헬륨 리크량을 평가하는 시험을 실시합니다. m3/초 이하

접합을 위해서 ~ 많은 시험을 하는 이유 ~

이유는 편차가 있기때문입니다.

모든 세라믹과 금속의 접합부에서 리크테스트를 하는 것은 기본입니다.
이것은 조건의 약간의 차이가 제품의 제조에 영향을 주기때문입니다. 접합은 매우 섬세하고 복잡합니다.

금속 페이스트가 세라믹과 반응하여 금속층을 형성하는 경우 각각의 열팽창계수의 차이가 있습니다.
메탈라이즈 페이스트의 도포두께, 도포범위, 조성비, 온도관리등이 적절하지않은 경우는 세라믹의 표면에 크랙이 발생합니다.

금속층이 적절하게 형성된경우에도 도금의 밀착성, 브레이징의 종류나 량, 접합시 열적제어가 적절하지않으면 기밀성이 나쁘게 됩니다.
이들을 적절히 제어할 수 있으면 크랙이 없는 접합이 가능합니다.

크랙이 없는 접합

접합부는 금속으로 싸여져있는 경우가 많으므로 크랙을 발견하는 것은 간단하지 않습니다.

내부의 작은 크랙도 장기간에 걸쳐서 발전하여 기밀성의 저하로 연결될 가능성이 있습니다.
따라서 크랙의 발생을 방지하기위해서는 하기와 같은 대책을 실시합니다.

ANSYS를 이용한 잔류응력의 해석

Analysis of residual stress by ANSYS

접합구조

Joint structure design

잔류응력을 최소한으로 억제하기위해서 ANSYS 또는 SOLIDWORKS를 사용하여 적절한 접합구조를 설계하고 SEM을 사용하여 금속화층과 브레이징 재료의 흐름을 분석합니다.
이렇게하여 열팽창계수가 크게 차이나는 하기와같이 매우 어려운 접합도 가능하게 됩니다.

Aluminum

Aluminum (CTE 7ppm) × Alumina (CTE 26ppm)

Sapphire

Sapphire (CTE 7ppm) × Stainless (CTE 18ppm)

* It may not be possible depending on the shape.

가와소텍셀은 오랜기간의 경험과 안정된 제조 프로세스를 기반으로 최고 품질의 제품을 제조하고 있습니다.

Metallized & Brazed Product

Commitment to Joining

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