公司概要
公司歷史
Message
水冷散熱板
陶瓷金屬接合製品
金屬硬焊接合製品
電力資材相關製品
礙子製品
精密陶瓷製品
真空電極端子
真空電極(Feedthroughs)也稱為饋通、電引入、電流導入端子。是一種連通大氣端與真空端，將大氣端的電源或訊號等傳輸到真空腔體內部的密封部件。
絕緣電阻(MΩ)：1,000以上(atDC1,000V)
氣密性：1×10-10Pa‧m³/sec
也可使用其他ICF、JIS或特殊法蘭。
標準真空電極端子
適用於追求高氣密性的絕緣用途。如真空腔體或瓦斯容器等的電源導入或測量。
可依需求熔接真空法蘭或其他附屬零件。導體材質及大小也可變更。
或是由我們為您提案、設計出最適合的真空電極端子樣式
| 耐電壓 | 電流值 | 電極 | 型號 | 圖面 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 尺寸 | 材質 | ||||
| 1kV | 3A | φ1.6 | Fe-Ni-Co | PF-K1.6-1kV-3A | |
| 20A | C1020 | PF-C1.6-1kV-20A | |||
| 5A | M3 | SUS304 | PF-SM3-1kV-5A | ||
| 10A | Fe-Ni-Co | PF-KM3-1kV-10A | |||
| 3kV | 10A | M6 | SUS304 | PF-SM6-3kV-10A | |
| 30A | M10 | PF-SM10-3kV-30A | |||
| 100A | M6 | C1020 | PF-CM6-3kV-100A | ||
| 200A | M10 | PF-CM10-3kV-200A | |||
| 5kV | 8A | M5 | SUS304 | PF-SM5-5kV-8A | |
| 70A | C1020 | PF-CM5-5kV-70A | |||
| 12kV | 10A | M6 | SUS304 | PF-SM6-12kV-10A | |
| 100A | C1020 | PF-CM6-12kV-100A | |||
| 30kV | 10A | M6 | SUS304 | PF-SM6-30kV-10A | |
| 100A | C1020 | PF-CM6-30kV-100A | |||
真空電極端子(附法蘭)
本公司也有提供法蘭與真空電極端子的熔接服務。
| 耐電壓 | 電流值 | 電極 | 法蘭 | 型號 | 圖面 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 尺寸 | 材質 | 數 | |||||
| 1kV | 5A | M3 | SUS304 | 1 | ICF34 | PF-SM3-1kV-5A-I34-1 | |
| 2 | ICF70 | PF-SM3-1kV-5A-I70-2 | |||||
| 10A | Fe-Ni-Co | 1 | ICF34 | PF-KM3-1kV-10A-I34-1 | |||
| 2 | ICF70 | PF-KM3-1kV-10A-I70-2 | |||||
| 3kV | 10A | M6 | SUS304 | 1 | ICF34 | PF-SM6-3kV-10A-I34-1 | |
| 1 | ICF70 | PF-SM6-3kV-10A-I70-1 | |||||
| 2 | ICF70 | PF-SM6-3kV-10A-I70-2 | |||||
| 30A | M10 | 1 | ICF70 | PF-SM10-3kV-30A-I70-1 | |||
| 2 | ICF114 | PF-SM10-3kV-30A-I114-2 | |||||
| 100A | M6 | C1020 | 1 | ICF34 | PF-CM6-3kV-100A-I34-1 | ||
| 1 | ICF70 | PF-CM6-3kV-100A-I70-1 | |||||
| 2 | ICF70 | PF-CM6-3kV-100A-I70-2 | |||||
| 200A | M10 | 1 | ICF70 | PF-CM10-3kV-200A-I70-1 | |||
| 2 | ICF114 | PF-CM10-3kV-200A-I114-2 | |||||
| 5kV | 8A | M5 | SUS304 | 1 | ICF34 | PF-SM5-5kV-8A-I34-1 | |
| 2 | ICF70 | PF-SM5-5kV-8A-I70-2 | |||||
| 70A | C1020 | 1 | ICF34 | PF-CM5-5kV-70A-I34-1 | |||
| 2 | ICF70 | PF-CM5-5kV-70A-I70-2 | |||||
| 12kV | 10A | M6 | SUS304 | 1 | ICF34 | PF-SM6-12kV-10A-I34-1 | |
| 1 | ICF70 | PF-SM6-12kV-10A-I70-1 | |||||
| 2 | ICF70 | PF-SM6-12kV-10A-I70-2 | |||||
| 100A | C1020 | 1 | ICF34 | PF-CM6-12kV-100A-I34-1 | |||
| 1 | ICF70 | PF-CM6-12kV-100A-I70-1 | |||||
| 2 | ICF70 | PF-CM6-12kV-100A-I70-2 | |||||
| 30kV | 10A | M6 | SUS304 | 1 | ICF70 | PF-SM6-30kV-10A-I70-1 | |
| 100A | C1020 | 1 | ICF70 | PF-CM6-30kV-100A-I70-1 | |||
水冷式真空電極端子
水冷式真空電極，亦稱爲水冷端子、水冷陶瓷電極等。通過將中心導體製成水冷的形式，達到緩和熱源的影響，抑制發熱的效果。
| 耐電壓 | 容許電流 | 尺寸(mm) | |||
|---|---|---|---|---|---|
| ΦD1 | ΦD2 | L1 | L2 | ||
| 3kV | 200A | Φ16 | Φ26 | 184 ※ | 80 ※ |
除上述尺寸外，也可製作其他各種尺寸。
※L1，L2可依需求變更
特殊用途真空電極端子
根據您的用途，爲您的設備量身定做最合適的真空電極（feedthrough）。
以下是我們的製作實績。
用於真空加熱器
用於高周波
用於熱電偶
陶瓷絕緣接頭
絕緣接頭，是在管狀絕緣陶瓷的兩端與金屬進行氣密接合而成的產品。
適用於真空裝置的進氣、排氣部分。
如果您需要各種真空法蘭或波紋管的熔接，請與我們聯絡。我們能針對使用環境為您設計出最適合的陶瓷絕緣接頭。
| 耐電壓 | 金屬部材質 | 可對應之法蘭尺寸 | 型號 |
|---|---|---|---|
| 20kV | KOVAR | ICF70以上 | VE-K20KV |
| 30kV | ICF114以上 | VE-K30KV | |
| 40kV | ICF152以上 | VE-K40KV |
陶瓷絕緣導管
| 冷媒 | 型號 | 金屬部材質 | 耐電壓 | 尺寸(mm) | |
|---|---|---|---|---|---|
| ΦD1 | L | ||||
| 液體 | CB-L-S1500V-8 | SUS316L | 1.5kV | 8.0 | 140 |
| CB-L-S1500V-12 | 12.0 | ||||
| 氣體 | CB-G-S1500V-8 | SUS316 | 1.5kV | 8.0 | 140 |
| CB-G-S1500V-12 | 12.0 | ||||
本公司的陶瓷金屬接合對純水有絕佳的抗腐蝕性。銅、不鏽鋼、鐵鎳鈷合金(Kovar)、鈦等材質的導管皆適用。
其他非磁性材質也歡迎來信詢問。
依照使用環境及用途，可設計不同形狀的金屬管或陶瓷管。
不只是形狀、尺寸，氧化鋁濃度(92%、96%、99%)也可由我們為您設計、提案。
絕緣阻抗：1000以上(atDC500V) 、氣密性：1×10-10Pa‧m³/sec
内部螺旋狀陶瓷絕緣導管（用於濺射裝置、CVD裝置、航天推進器等）
適用於抑制半導體氣體導入時的放電現象!
本產品是一種内部管道呈螺旋結構的陶瓷絕緣導管。
通過將内部管道製成螺旋狀，使它的絕緣距離大幅增加，可以達到直線型内管的數倍。更能有效抑制直線放電現象的發生。
特長
- 通過延長内部管道的長度，抑制放電現象的發生。
- 在有限的空間内確保有效的絕緣距離，幫您實現裝置的省空間化。
- 本產品被廣汎應用於蝕刻、成膜用的等離子表面處理裝置及CVD裝置、濺射裝置中。
本產品適用於各種半導體氣體中，如果您需要在有限的空間内進行絕緣，歡迎使用内部螺旋狀陶瓷絕緣導管！
-
内部結構概念圖
-
断面
-
尺寸（mm） ΦD1 L1 L2 Φ10～ 35～ 7～ 
金屬管材質：SUS304、SUS316
標準型内部螺旋狀陶瓷絕緣導管
參數
- 氣密性：1.0×10-10Pa·m³/sec
- 内部螺旋管長度：190mm
標準型内部螺旋狀陶瓷絕緣導管
尺寸（mm）
| L | ΦD1 | ΦD2 | ΦD3 | 圖面 |
|---|---|---|---|---|
| 70 | Φ20 | Φ3.18（1/8inch） | Φ1.74 |
※陶瓷内部螺旋管長約爲190mm。
※如果您需要材質/尺寸變更等客製化服務，請聯係我們。
藍寶石真空觀察窗
| 名稱 | 尺寸(mm) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| ΦA | ΦB | ΦC | D | E | t | |
| 藍寶石真空觀察窗 Φ14 |
14 | 15.5 | 12 | 10.7 | 1 | 1 |
| 藍寶石真空觀察窗 Φ25.4 |
25.4 | 26.9 | 23.4 | 10.7 | 2 | 3 |
| 藍寶石真空觀察窗 Φ50 |
50 | 51.5 | 48 | 15.5 | 2 | 3 |
| 名稱 | 尺寸(mm) | |||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ΦA | ΦB | ΦC | ΦD | E | t | T | N | H | ΦP.C.D | |
| ICF 70-Φ14 | 14 | 15.5 | 12 | 10.7 | 1 | 1 | 12.7 | 6 | 6.8/M6 | 58.7 |
| ICF 70-Φ25.4 | 25.4 | 26.9 | 23.4 | 10.7 | 2 | 3 | 12.7 | 6 | 6.8/M6 | 58.7 |
| ICF 114-Φ50 | 50 | 51.5 | 48 | 15.5 | 2 | 3 | 17.5 | 8 | 8.5/M8 | 92.1 |
超高真空用玻璃視窗、檢查孔、紫外線、紅外線專用的藍寶石真空觀察窗等，各種金屬的接合都可來信詢問。
使用可能的溫度範圍：~400°C
氣密性：1×10-10Pa‧m³/sec
高密著氧化鋁電路板
使用金屬化技術，可在精密陶瓷板上形成高附著性的迴路。也可將通電用的針腳等零件接合在迴路上。
| 密著性 | 與其他零件接合 | 形成迴路 | |
|---|---|---|---|
| 金屬化 | ◯ | ◯ | △ |
| 電鍍 | △ | × | ◯ |
金屬化處理與電鍍相同，可以形成直接迴路，但比電鍍有更好的密著性。若您有因電鍍密著性不足而迴路剝離的情況，歡迎與我們連絡，我們將為您提案由金屬化接合製作的高密著氧化鋁電路版。
由金屬化製作的電路版，迴路完全可以自由設計。本公司最小線幅可以做到0.4mm。歡迎與我們討論您所需要的迴路圖、線幅與間距等條件。
osaka-sales@
kawaso-texcel.co.jp
歡迎使用中文諮詢
Head Office / Sales Department
+81-6-6532-1301
LINE ID:
kawasoline
WeChat ID:
KawasoWechat2
線上客服
550-0005 大阪府大阪市西區西本町1丁目7番10號
TEL. +81-6-6532-1301(代) / FAX. +81-6-6531-6240
E-mail. osaka-sales@kawaso-texcel.co.jp
